국민대학교

공지사항

제12기 서울테크노파크 MEMS 공정 교육 참가 학생 선발

 

 

 

 

 

 

 

 

2019년 제12MEMS 공정 교육 계획서

 

 

1. 교육 내용 및 일정

교육목표

- IoT 융합 신기술 인재 양성을 위하여 IoT 핵심요소 중 하나인 MEMS 공정 기술인력 양성 필요

- 이론(2) + 실습(2) 과정으로 교육 과정을 수립하고, 실습 위주의 교육을 실행함으로써 FAB 환경에서의 업무 경험 증대

- MEMS 공정(반도체)및 재료의 이해와 장비 교육을 통하여 실무 지식 및 활용능력 향상

- 산학 공용 장비에 대한 홍보 및 교육을 통한 장비 활용도 제고

과 정 명

MEMS 공정 실습 (Inductor 제작 및 평가)

교육정원

18

교육장소

이론강의 : ()서울테크노파크 602

공정실습 : ()서울테크노파크 FAB, 309, 310

수강대상

서울과학기술대학교 선도센터 참여대학 공학계열 재학생

교육기간

2019 . 06 . 25 ~ 2019 . 06 . 28 (4)

교육내용

반도체 FAB 출입 및 환경 안전교육

 

MEMS 공정 개론

 

MEMS 공정 단계별 이론교육

 

공정실습 사전 장비교육

 

Inductor 제작공정 실습

 

Inductor 측정 실습

 

◎ 선발 방법

국민대 3명 (공학계열)

6월 9일(일) 24:00까지 각 학과 담당 직원에게 엑셀파일 이메일 제출 (제출처 엑셀파일 참조)

선발자추후 개별 연락

 

 

교육 일정

일 자

시 간

25(이론)

26(이론)

27(실습)

28(실습)

09:00~10:00

서울테크노파크 집결

서울테크노파크 집결

Photo Lithography

(via hole)

Electroplating

(Inductor)

교육 소개

이론 4

10:00~11:00

이론 1

ICP-Echting

PR strip

Seed Etching

11:00~12:00

점심

12:00~13:00

점심

점심

공정실습

이론교육

점심

13:00~14:00

AFM 실습

이론 2

Sputter

(Seed 증착)

14:00~15:00

휴식

Nano 3d 실습

15:00~16:00

청정실

안전교육

Photo

Lithography

(Inductor)

휴식

16:00~17:00

이론 3

동영상 시청 및 질의 응답

3층 측정실습

17:00~18:00

안전교육 시험

수료증 수여 및 설문조사

*실습의 경우 그룹편성에 따라 교육 프로그램 스케줄 변경

 

이론교육 강의

일시

강의명

강사

2019. 6. 25. 10:30 ~ 12:30

MEMS 공정개론 및 시장동향

조영학 교수(서울과기대)

2019. 6. 25. 13:30 ~ 15:30

Photo Lithography

옥종걸 교수(서울과기대)

2019. 6. 25. 16:00 ~ 18:00

Deposition

안지환 교수(서울과기대)

2019. 6. 26. 09:30 ~ 11:30

Etching Process

이상훈 교수(서울과기대)